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SpecEl橢偏儀
  • 名稱:SpecEl橢偏儀
  • 型號:SpecEl
  • 品牌:Ocean Optics
  • 描述:SpecEl橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實...
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SpecEl 橢偏儀

      SpecEl橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實現折射率,吸光率及膜厚的測量。


技術參數

波長范圍:

380-780 nm (標準) 或450-900 nm (可選)

光學分辨率

4.0 nm FWHM

測量精度

厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%

入射角

70°

膜厚

單透明膜1-5000 nm

光點尺寸

2 mm x 4 mm (標準) 或 200 μm x 400 μm (可選)

采樣時間

3-15s (最小)

動態記錄

3 seconds

膜層數

至多32層

參考

不需要

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